真空箱式氦测漏系统“本信息长期有效”

真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氢气检漏设备

针对产品进行IP防水检测，可以通过两种仪器来实现，一种是防水测试设备，一种是气密检漏设备，真空箱式氦测漏系统，防水测试设备是使用水来对产品进行不同防水等级的测试，来达到检测标准要求，而气密检漏设备是通过气压来模拟水压，实现对产品的密封性能的测试，不会损坏内部产品。

气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品，一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔)，再进密性测试，即采用直接检测方法，另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制)，对仿形模具内腔进行充气，然后进密检漏设备。

氢气检漏设备

无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。与氦气相比，使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。其价格非常低廉，很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相当于0.1g/y，其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20，同时氦气检漏法要增加一些辅助设备，如氦气回收系统等。