空气流量计公司

质量流量计产品对使用气体的要求

要求气体必须洁净且没有颗粒物，没有液体。建议客户在上游气路中安装<30um的过滤器和干燥剂。输入的气体压力必须符合产品的耐压标准，不能超过该产品要求的较大压力，也不能低于流量控制的较低要求。用户有责任按照相关安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，由于不正确的使用所导致的损害本公司不承担任何责任。稳压电源必须按照要求配置，否则由此造成的损失本公司不承担。气路的连接，必须仔细的安装密封管件，确保所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。

质量流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，空气流量计公司，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

质量流量计产品原理

常用的质量流量计/控制器的种类按工作原理分主要有两种:热式和层流式。热式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游温度差来测量质量流量，温度差的大小与质量流量的大小有关，温差越大，质量流量越大。

层流式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游压力差来测量质量流量压力差的大小与体积流量的高低有关，配合气体的密度计算质量流量。