河北质量流量控制器公司“本信息长期有效”

质量流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

质量流量计使用方法

用户通过气管和接头将气源和本设备的气体进口连接。气源的压力必须在规定的范围内(0.1~1MPa)，用同样的方法连接设备出口和用气部位。然后接通电源，质量流量控制器公司，在显示屏选择气体的种类，设置流量和气体总量，设置完成后设备自己校准并执行设定值开始工作。相关数值可以通过显示屏查看，或者通过数据线以 4-20mA或者 RS485 协议与控制终端连接上传数据。可以使用随机配送的数据线连接査看的相关信息。(客户需要在订货时确认需要的信号输出接口类型)

质量流量计概述

在气体流量的测量应用中，质量流量计是一种常见的测量仪器。质量流量计(MFM，Mass FIow Meter)，是一种准确测量气体流量的仪表。质量流量控制器(MFC:Mass Flow Controller)集成 MFM 及控制阀门，不但具有质量流量计的功能，还能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器作为稳流装置，可以手动设定或与计算机连接进行的气体稳流自动控制。