气体质量流量控制器原理-科仪创新真空有限公司

质量流量计使用方法

用户通过气管和接头将气源和本设备的气体进口连接。气源的压力必须在规定的范围内(0.1~1MPa)，用同样的方法连接设备出口和用气部位。然后接通电源，在显示屏选择气体的种类，设置流量和气体总量，设置完成后设备自己校准并执行设定值开始工作。相关数值可以通过显示屏查看，或者通过数据线以 4-20mA或者 RS485 协议与控制终端连接上传数据。可以使用随机配送的数据线连接査看的相关信息。(客户需要在订货时确认需要的信号输出接口类型)

质量流量控制器

质量流量控制器是一种精密的流体控制设备，气体质量流量控制器厂家，用于准确测量和控制气体的质量流率。其主要功能是在保持设定的质量流量的同时，对气体进行准确的调节和稳定输出。这种控制器广泛应用于各种工业和科学研究中需要严格控制气体流的场合，如半导体制造、化学分析仪器以及实验室研究等领域。

其工作原理基于热导式或压力差式的传感器技术来感知并计算通过的气体流量；再通过内部的微处理器对这些数据进行处理并与设定的目标值进行比较后调整阀门开度来实现准确的质量控制效果。此外还具有多种安全保护功能及远程控制接口便于集成到自动化系统中实现远程监控与控制操作。总之是现代化工业生产与科研实验中不可或缺的重要工具之一.

质量流量计产品特点

产品特点，吉林气体质量流量控制器，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。