气体质量流量控制器原理

质量流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

质量流量计产品原理

常用的质量流量计/控制器的种类按工作原理分主要有两种:热式和层流式。热式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游温度差来测量质量流量，温度差的大小与质量流量的大小有关，温差越大，质量流量越大。

层流式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游压力差来测量质量流量压力差的大小与体积流量的高低有关，配合气体的密度计算质量流量。

质量流量计

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器，放大后的值和通过显示屏设置的流量值进行比较，气体质量流量控制器原理，用比较值控制调节阀开度，本设备从比较到控制的时间非常短，满足了及时性和准确性的要求。本设计对产品的安装角度和位置不敏感，无需反复校准调零，

本设备可以通过触摸屏设置气体总量，在设定流量下通过时间参数自动计算气体总量，当气体总量达到设定值时，调节阀立即关闭。

本设备可以通过触摸屏设置气体种类，气体的种类必须和所测气体一致，每一种气体的各项性能不尽相同，选对气体种类是进行流量和总量控制的前提。