山西层流式质量控制器原理

质量流量计产品原理

常用的质量流量计/控制器的种类按工作原理分主要有两种:热式和层流式。热式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游温度差来测量质量流量，温度差的大小与质量流量的大小有关，温差越大，质量流量越大。

层流式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游压力差来测量质量流量压力差的大小与体积流量的高低有关，层流式质量控制器原理，配合气体的密度计算质量流量。

质量流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

质量流量计是一种用于测量流体质量的仪表，相较于传统的体积流量计具有更高的精度和稳定性。它能够直接测得通过管道的质量流量、密度以及温度等参数值，不受介质压力变化及流动状态的影响。

其工作原理通常基于科氏力原理或热导式原理：利用振动管在振动过程中产生与质量成正比的相位差来测定流过管道的质量；或通过测定传感器加热元件因被测介贡流速不同而带走的热量多少来计算流量的方法来确定物质的瞬时质量和累计重量(总量)。该设备可广泛应用于各种工业环境和使用场景中对气体或者液体的准确计量和控制过程之中去帮助实现自动化控制和提高生产效率的目的。