高压柜氦测漏系统

氢气检漏

油雾法

油雾法的测试尘源为油雾，“量”为含油雾空气的浊度，以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。

德国规定使用石蜡油，油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时，容易对过滤器造成损伤，且不能直接读值，浪费时间。

DOP法

这种方法曾经是国际上测试过滤器海绵常用的方法。

它的测试尘源为0.3微米单分散相邻苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴，也称为“热DOP”，“量”为含DOP空气的浑浊程度。

将DOP液体加热成蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒，进入风道，通过测量过滤器前后气样的浊度，并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。

真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氢气管道

在氢气管道方面，氢气管采用无缝钢管制成;管道和管件采用焊接连接，以减少可能的泄漏点。管道与设备的喷嘴、阀门等采用法兰或螺纹连接，并在连接中使用金属丝并定期检查粘接电阻，设备或管道端部是否接地良好;所述管道上设有空管、取样口和吹扫口，高压柜氦测漏系统，其位置满足管道中气体吹扫和更换的要求，系统上设有含氧量小于0.5%的氮气置换吹扫设施;氢气排气管应导至室外，排气口应高于屋顶高处1m以上。在排气口设置阻火器，防止外部火花进入系统造成事故，并采取防护措施，防止雨雪侵入、碎片堵塞、雷击。