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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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真空设备检漏

一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的，也是没有必要的，所以就要根据真空系统实际应用的具体条件，对漏率指标提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足够小，使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强，这些漏孔就是允许的。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量，称da允许漏率，简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标，也是检漏的依据。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。

如果已知允许的总气载，而没有具体指明究竟有多大，那么，在设计合理的前提下。da允许漏率Q漏=0.1Q总，不同真空系统所允许的总漏率也不同。

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氢气检测仪在氢气泄漏检测中的应用

工业用途氢是主要的工业原料，也是的工业气体和特种气体，在石油化工、电子工业、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。同时，氢也是一种理想的二次能源（ 二次能源是指必须由一种初级能源如太阳能、煤炭等来制取的能源）。氢氮混和气检漏法已在国内外广泛应用于制冷、空调、汽车零部件、发动机、变速箱、减速机、阀门、药品包装、飞机油箱油路及其他密封件或管路检漏。另外，氢气还可用作合成氨、合成、合成盐酸的原料，冶金用还原剂，石油炼制中加氢脱硫剂等

氮气和氢气的混合气的用途

焊接行业中的应用氮氢混合气体是焊接行业常用的混合保护气种类之一，氮气稳定的性质和氢气的弱还原作用对焊缝的成形具有的辅助效果，并且对于气泡生产也有相当的抑制作用，在焊接领域有很好的使用成效。

炼钢行业中的应用5%的氢气+95%氮气的混和气是一种安全的不可燃气体，这是一种炼钢用的标准还原保护气，所以很容易买到混和好的气体。