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发布时间:2022-01-05 04:27:00 作者:科仪创新真空





氦质谱检漏仪的原理
氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质分析器,
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
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真空箱氦检漏的特征和优点
1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、技术的密封接头,减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制,使系统运行清晰明了,实现了实时监测及控制。
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氦气检漏的基本功能(部分功能可选配)
1、对被检工件充注高压氮气或压缩空气进行耐压强度和大漏气密性检验;
2、对被检工件抽真空;
3、对被检工件充注氦气;
4、真空箱法氦质谱检测,自动判断工件漏率合格与不合格;
5、回收并循环使用氦气;
6、如果氦气浪费严重,可以将使用过程中浓度不合格的氦气进行提纯
7、PLC控制,触摸屏操作,自动检测。
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氦气怎么检漏?
利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体,氦气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。
对于一些高的精尖的细小电子元件,氦气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。看到这里大家得注意,氦气的价格不菲,进行一次氦气检漏的费用自然不低。
氦气怎么检漏,氦气检漏就是利用了氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。检测时首先探测到氦气的点,得到氦气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有易1爆危险,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。氦检漏有两种工艺,一种是背压法,另一种则是真空箱法。
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