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发布时间:2021-11-19 18:41:00 作者:科仪创新真空
氦质谱检漏仪的主要配置
科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。今天科仪的小编就和大家分享一下氦质谱检漏仪的主要配置有哪些,希望对您有所帮助!
1. 检漏仪***分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪***电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱***模块
以上是科仪为您一起分享的内容,科仪***生产氦检漏,欢迎新老客户莅临。
氦质谱检漏仪的进展
经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。
集中体现在如下几个方面:
(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。
例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,且提高检漏灵敏度。
另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸***检漏提供了良好的条件。
什么是氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪品牌浅析什么是氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪可靠的***广泛的市场应用,此款氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款氦质谱检漏仪坚固耐用,抗震性能极强,可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用,纯度要求不高,一般选用工业用氦,即氦含量≥99%,露1点≤43℃。氦质谱检漏仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。氦质谱检漏仪主要特点:前级泵配备抽速高达15 m3/h 旋片泵,对氦气抽速可达 2.5l/s,氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的蕞小检测漏率:
真空模式:5 · 10-13 Pa m3/s
吸***的模式:5 · 10-10 Pa m3/s
以上内容由科仪为您提供,今天我们来分享的是氦质谱检漏仪的相关内容,希望对您有所帮助!
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