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发布时间:2022-08-25 13:06:00 作者:科仪创新真空
真空设备检漏
设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的***检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便,检测迅速等特点,是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器,
其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。至少要在10-3mbar以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。质量分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同,在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙,打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。
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并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的
位置,可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。
与抽真空方式相反,嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气,
封闭测试端口,将嗅探探头连接至检漏仪,用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升,便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。但是,由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的,大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除,但仍会降低嗅探方式的灵敏度(嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。
氢气系统的组成
氢冷系统主要由氢气汇流排(供氢系统)、二氧化碳汇流排(供二氧化碳系统)、二氧化碳蒸发器(加热器)、氢气控制装置、氢气干燥器(氢气去湿装置)、循环风机、发电机绝缘过热监测装置(发电机工况监测装置)、发电机漏液检测装置和发电机漏氢检测装置(气体巡回检测仪)组成 。氢气系统的功能是利用干燥的氢气对发电机转子绕组和定子铁芯进行冷却;在机组起动前或停止运行后利用中间介质置换机内气体。氢气检漏法在制冷、空调的应用和展望今天,在世界各地许多制冷、空调客户正在使用各种不同型号的氢气检漏仪。
氢气检测仪特点
1. 氢气检测仪小巧、采用坚固的防爆外壳,具有防水型设计。2. 屏幕LCD液晶显示,可连续连续实时地显示气体浓度,需要背景灯时,可按下背景灯用键。3. 具有很强的声、光、振动等3种报警功能。以上内容由北京科仪创新真空技术有限公司为您提供,今天我们来分享的是氢气检漏设备的相关内容,希望对您有所帮助。4. 采用可充电锂电池供电,待机可长达约一个月左右。5. 报警可有低限、高限、STEL和TWA等多种报警功能,并可据客户需求调整报警值。6. 自动零点与满量程标定等功能。
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