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发布时间:2022-08-18 18:09:00 作者:科仪创新真空
真空设备检漏
一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的,也是没有必要的,所以就要根据真空系统实际应用的具体条件,对漏率指标提出合理的要求,只要漏孔的漏率已足够小,使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强,这些漏孔就是允许的。与氦气相比,使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量,称da允许漏率,简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标,也是检漏的依据。
如果已知允许的总气载,而没有具体指明究竟有多大,那么,在设计合理的前提下。da允许漏率Q漏=0.1Q总,不同真空系统所允许的总漏率也不同。
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一个真空系统,经相当长时间抽气之后,仍然达不到预期的真空度,可能的原因有:抽气情况不良,即抽气系统本身的问题。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器,它只对氢气有响应信号,而对其他气体没有响应,属于唯1性检漏性检漏方法。放气,即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气,即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题,即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位,以便修补堵漏。
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氦质谱检漏仪:
1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。注意不可以直接将气体排在检漏位置,因为这样会造成本底污染,使得后面的检漏无法进行。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。
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