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发布时间:2022-07-01 21:53:00 作者:科仪创新真空
真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。氢气检漏法的主要设备(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的***氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与氦检相同水平。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要***行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多 氢气检漏的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
如何正确使用氦气检漏设备?
为了正确使用氦气检漏设备,在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。氢气检漏仪可以为您带来传统检漏无法满足的更灵活的检漏解决方案。如果在填充前没有排空,试件中的空气将被挤压到几何空间的末端,氦气检漏设备中的气体不能进入该部分,因此潜在的检漏孔将仅释放空气,检漏设备不能检测到这些检漏孔。氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中,这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满,从而大大影响检漏结果。
氦质谱检漏仪:
1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。一旦出现信号响应,说明有氢气通过漏孔进入被检件中,从而指示漏孔的位置与大小。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。
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